为什么单晶炉石墨加热器会断裂?如何采用技术去解决?
发布时间:2021-01-19 14:07:28
让我们先了解石墨加热器开裂的原因:
1、材料选择有问题。
这个原因其实是最大的原因。由于石墨坩埚本身的物理性能,主要是导热、热膨胀这两方面的原因,导致坩埚在速冷速热的情况下,简单产生应力且不简单消除外在石墨出产进程中,石墨的压型、浸渍、焙烧、石墨化和提纯进程时刻长,不简单监测查验,尽管全体体现比较均一,但是在同一块石墨内部各个部分之间还是存在必定的差异性,这就决议了石墨从根本上会存在必定的问题。换言之,石墨坩埚开裂,只是时刻长短问题。同时,各个热场出产厂家在交货时不能给予使用者一个恰当的升温降温速度的主张,使用者依照自己的工艺辅导进行操作,其结果,焉能不断不裂?
2、形状规划有问题。
由于这个原因坩埚开裂后体现一般就是在r部与上部坩埚结合部位,一般为横向开裂,且一般是两侧断口低中心高;如果是悉数裂开后再拼到一同的话,能够显着发现两头拼接口不能重合。真实的原因是在使用后坩埚上部壁厚均匀部分和下部逐渐变厚部分的应力集中在这个部位,形成应力集中,最终形成三瓣坩埚开裂。
3、使用方法有问题。
这个主要是在冷却降温拆炉这段时刻。使用者在拉晶的时候又会有一个缩短升温时刻和冷却时刻以及拆炉时刻的想法,提高出产功率无可厚非,这个能够了解。在所有影响使用寿命的因素中,最主要的就是使用方法不正确是导致石墨坩埚使用寿命减少的直接原因了。