在做半导体时石英坩埚为什么还要要套上石墨坩埚?

作者:jcshimo 发布时间:2021-01-28 13:36:48

    石墨坩埚的主体原料,是结晶形天然石墨。故它保持着天然石墨原有的各种理化特性。

    石墨坩埚具有杰出的热导性和耐高温性,在高温使用过程中,热膨胀系数小,对急热、急冷具有必定抗应变功能。对酸,碱性溶液的抗腐蚀性较强,具有优良的化学稳定性。

    石墨坩埚,因具有以上优良的功能,所以在冶金、铸造、机械、化工等工业部门,被广泛用于合金工具钢的锻炼和有色金属及其合金的熔炼。并有着较好的技术经济作用。

    直拉法生产单晶硅时的情况,石英坩埚为什么要套上石墨坩埚?

    主要起辅佐热场稳定性进行拉制单晶硅的作用

    1.石墨坩埚杰出的热稳定性

    2. 石墨坩埚杰出的耐腐蚀、耐冲击功能、以保证产品质量的可靠性。

    3. 石墨坩埚杰出的耐强酸 、强碱。

    4. 石墨坩埚杰出的热传导功能:可以极大缩短熔炼时刻,节约能源。

    5. 石墨坩埚的灰分小于300pp,保证贵金属在锻炼中不被污染。

    具有杰出的中子减速功能,最早作为减速剂用于原子反应堆中,石墨反应堆是目前使用较多的一种原子反应堆。作为动力用的原子能反应堆中的减速资料应当具有高熔点、稳定、耐腐蚀的功能。

    只是会增加热阻,你放东西进去加热作用会变得很差。当然如果你套得十分十分紧的话,加热后石墨坩埚可能会裂开。石墨坩埚会在酒精灯上发生焚烧,石英坩埚因受热不均可能会导致呈现裂缝 。

   石英坩埚可在1650度以下使用,分通明和不通明两种。用电弧法制的半通明石英坩埚是拉制大直径单石英坩埚晶硅,是发展大规模集成电路必不可少的基础资料。当今,国际半导体工业发达国家已用此坩埚取代了小的通明石英坩埚。它具有高纯度、耐温性强、尺度大、精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点。