石墨热场中多晶硅铸锭炉热场应该如何进行清理?

作者:jcshimo 发布时间:2021-01-28 11:42:24

石墨热场之多晶硅铸锭炉热场的整理可参考以下内容:

1.用百洁布擦洗顶部和侧部加热器以及CC碳板。然后用工业吸尘器对其外表产生的污渍进行整理,最后用酒精和擦炉纸擦洗加热器外表。(注意从顶部开始)

2.用毛刷整理大顶板的排杂口,将杂物整理彻底。

3.关于隔热笼及炉腔缝隙内可以用专门东西清洁。

4.清洁完上炉体内,对隔热层内外能清到的地方整理一遍。

5.整理石墨纤维板时,对其溢流口进行整理,使溢流口晓畅。

6.用吸尘器整理溢流棉上杂物,颗粒物时,防止吸尘器吸力过大而损坏溢流棉,在整理过程中一定将杂物去除彻底并且检查溢流线的方位是否符合要求。(用吸尘器将炉腔内整理洁净,整理顺序为:DS助凝板、石墨纤维板、防溢石棉、腔内壁杂物,直至确认炉体内无明显污物为准。)

7.检修及整理完成后,要确认没有物体没有落到炉内,这一点很重要,要切记。(注意不要将任何物品遗失到炉体内)

8.装完料后,塞入四侧的碳纤维隔热板条并让其紧贴着坩埚底板,放置完成后,用吸尘器将坩埚四周整理洁净,全部处理完成后,操作人员用蘸有酒精的无尘纸将下炉腔与炉体触摸的两个面擦洗洁净,然后均匀地涂上一层真空脂,油脂适量即可,切忌过多,否则会影响抽真空且又形成糟蹋。